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納米定位臺的特點和應(yīng)用

　　主要特點

　　高于行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)3倍速度：<4ms的階躍穩(wěn)定時間和100μm的閉環(huán)位移控制；600Hz的響應(yīng)頻率；20N/μm的剛度

　　裝備雙傳感器技術(shù)：在不同的負(fù)載下無需重新校準(zhǔn)；*的機械帶寬；

　　的ZSY納米傳感器定位性能：0.1nm的定位噪音；0.01%的線性度；0.005%的剩余磁滯；

　　免工具安裝適配器；

　　超級不脹鋼結(jié)構(gòu)設(shè)計獲得*的聚焦穩(wěn)定性。

　　納米定位臺應(yīng)用領(lǐng)域

　　表面結(jié)構(gòu)分析；

　　自動對焦系統(tǒng)；

　　共焦顯微鏡；

　　掃描干涉儀。

　　納米定位臺采用無摩擦無空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)，采用有限元分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，具有超高的導(dǎo)向精度，定位精度可達(dá)納米級，分辨率達(dá)亞納米，毫秒級定位穩(wěn)定時間，產(chǎn)品體積小巧，結(jié)構(gòu)緊湊，易于集成到其他設(shè)備中。