壓電掃描臺(tái)的特點(diǎn)和應(yīng)用
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1-3維運(yùn)動(dòng)
zui大運(yùn)動(dòng)范圍370μm
一體式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，多維運(yùn)動(dòng)無耦合
zui大透光孔徑35mm
閉環(huán)精度可達(dá)0.15%F.S.
應(yīng)用：
原子力顯微鏡 高分辨率CCD 三維共焦顯微 激光平面干涉 納米光刻 紅外熱成像掃描 光纖對(duì)接 納米光刻
壓電掃描臺(tái)中心具有通孔，臺(tái)體集成高精度傳感器，采用柔性鉸鏈設(shè)計(jì)、無機(jī)械摩擦、分辨率高。產(chǎn)品主要應(yīng)用于透光精密光學(xué)器件的定位，生物顯微與顯微成像系統(tǒng)。壓電掃描臺(tái)包括一維、二維、三維三種運(yùn)動(dòng)形式，zui大運(yùn)動(dòng)范圍可達(dá)370μm。P-78壓電掃描臺(tái)，采用一體式設(shè)計(jì)，柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)， XYZ三維運(yùn)動(dòng)無耦合，無機(jī)械摩擦，響應(yīng)速度快，滿足不同應(yīng)用的需求。
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