XD770.300 系列大負載壓電納米定位臺
XD770.300 系列大負載壓電納米定位臺 壓電納米定位臺在精密定位領域中發(fā)揮著至關重要的作用,可集成于各 類高精密裝備,為其提供納米級運動控制,且應用非常廣泛。 XD770.300 系列壓電納米定位臺為 Z 軸方向的運動平臺,行程可達 300μm,負載可達5kg,實現行程范圍和負載能力的雙提升,為同時有大行程、 大負載應用需求提供了優(yōu)質的解決方案。配合芯明天壓電控制器,分辨率高、 響應速度快。 產品特點 Z 向運動 行程達 300μm 承載達 5kg 參數可定制 可定制真空版本 典型應用 顯微掃描 光路調整 納米操控技術 激光干涉 納米光刻 生物科技 光通信 納米測量 顯微操作 納米壓印
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