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產(chǎn)品名稱：N31系列三維壓電馬達

產(chǎn)品型號：

產(chǎn)品報價：

產(chǎn)品特點：N31系列三維壓電馬達，可在XYZ三個方向運動，配備有增量式編碼器進行閉環(huán)控制。內(nèi)部采用PZT壓電式驅(qū)動，每軸運動行程可選25、50、100mm，可達納米級分辨率。

更新日期：2023-09-07

N31系列三維壓電馬達的詳細資料：

N31系列三維壓電馬達

三維閉環(huán)壓電馬達可在XYZ三個方向運動，配備有增量式編碼器進行閉環(huán)控制。內(nèi)部采用PZT壓電式驅(qū)動，每軸運動行程可選25、50、100mm，可達納米級分辨率。

產(chǎn)品特點

 行程25、50、100mm/軸可選

 納米級分辨率

 增量式編碼器

 承載達2.5kg

產(chǎn)品應用

 超分辨成像樣品移動

 微納裝備及制造

 掃描電鏡（SEM）樣品操縱

 納米聚焦與掃描

 主動光學

 集成電路制造與檢測

 顯微及納米CT

 大范圍電子束直寫（EBL）

 高真空樣品精度對準及調(diào)姿


N31系列三維壓電馬達


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