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產(chǎn)品名稱：CAP電容測微儀系列

產(chǎn)品型號：

產(chǎn)品報(bào)價(jià)：

產(chǎn)品特點(diǎn)：CAP電容測微儀系列通過電容測頭可以測量0-200μm范圍內(nèi)的微小位移，測量精度為納米級。測微儀由機(jī)箱與傳感模塊組 成，可組成多通道測量。

更新日期：2021-10-15

CAP電容測微儀系列的詳細(xì)資料：


E09.Cap電容非接觸式測微儀，通過電容測頭可以測量0-200μm范圍內(nèi)的微小位移，測量精度為納米級。測微儀由機(jī)箱與傳感模塊組 成，可組成多通道測量。

CAP電容測微儀系列特性：

• 模塊化設(shè)計(jì)、自由組拼

• 可提供單個(gè)板卡模塊

• 高分辨率 • 模擬輸出

• 非接觸式測量

原理

它基于一個(gè)理想的平行板電容器原理，傳感器與相對面被測目 標(biāo)形成的兩個(gè)電極，采用保護(hù)環(huán)電容器原理，用于測量任何金屬 時(shí)，傳感器仍是線性的。

應(yīng)用：

• Z向水準(zhǔn)測量 •  X, Y向定位

• 軸向振動(dòng)測量

• 熱膨脹測量 • 位移臺傳感器


CAP電容測微儀系列技術(shù)參數(shù)

型號

E09.Cap

單位

量程范圍

0~200

μm

線性度

±0.1

μm

靜態(tài)分辨率

2.5

nm

動(dòng)態(tài)分辨率（1kHz）

100

nm

傳感器直徑

10

mm

小目標(biāo)直徑

10

mm

靜態(tài)重復(fù)性

5

nm

信號溫度穩(wěn)定性

＜ 0.005

%FSO/℃

長期穩(wěn)定性

＜ 0.04

%FSO/ 月

帶寬

2

kHz（-3dB）

工作溫度范圍

+10~+50

℃

環(huán)境濕度

<85

%

電壓輸出范圍

0~+10

V

供電電壓

220VAC 50Hz±10%


傳感器線長

1.6

m

板卡尺寸：長×高× 深

35×130×180

mm

機(jī)箱尺寸：長×高× 深

280×170×360

mm


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