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產(chǎn)品名稱:P22一維θx向壓電偏轉(zhuǎn)鏡4mrad

產(chǎn)品型號:P22

產(chǎn)品報(bào)價(jià):

產(chǎn)品特點(diǎn):P22一維θx向壓電偏轉(zhuǎn)鏡4mrad 是以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件,內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),外部機(jī)械結(jié)構(gòu)通過內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來實(shí)現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),補(bǔ)償量小,確保偏轉(zhuǎn)鏡具有良好的運(yùn)動(dòng)精度和超高的穩(wěn)定性,通過內(nèi)置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制,實(shí)現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。

更新日期:2021-03-23

P22P22一維θx向壓電偏轉(zhuǎn)鏡4mrad的詳細(xì)資料:

P22一維θx向壓電偏轉(zhuǎn)鏡4mrad

P22系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡是一維θx軸偏轉(zhuǎn)鏡/快反鏡,柔性鉸鏈導(dǎo)向設(shè)計(jì)具有零摩擦及靜態(tài)阻力、優(yōu)異的導(dǎo)向精度。提供納弧度的分辨率和優(yōu)異的定位穩(wěn)定性。光束偏轉(zhuǎn)范圍可達(dá)8mrad, 具有極快的響應(yīng)速度(毫秒至微秒級),非常適于動(dòng)態(tài)操作(例如跟蹤、掃描、漂移及振動(dòng)消除)及光學(xué)和樣品的靜態(tài)定位。

 

P22一維θx向壓電偏轉(zhuǎn)鏡4mrad

  特性  

• θx一維偏轉(zhuǎn),zui大偏轉(zhuǎn)角度4mrad                 • 閉環(huán)定位精度高               • 分辨率高                 

• 外形超薄                                                   • 亞毫秒響應(yīng)時(shí)間

 

  運(yùn)動(dòng)方式  

   頻率負(fù)載曲線  

  閉環(huán)曲線  

閉環(huán)傳感輸出監(jiān)測電壓與偏轉(zhuǎn)鏡輸出偏轉(zhuǎn)角度成線性關(guān)系。

 

維θx向壓電偏轉(zhuǎn)鏡4mrad

  小體積、高動(dòng)態(tài)、開環(huán)閉環(huán)可選  

結(jié)構(gòu)原理  

 

壓電驅(qū)動(dòng)俯仰/偏轉(zhuǎn)臺(tái)(快反鏡/傾斜鏡,光束偏轉(zhuǎn),相移器)提供比音圈電機(jī)類產(chǎn)品更高的加速度及帶寬,θx軸偏轉(zhuǎn)范圍 4mrad,偏轉(zhuǎn)分辨率達(dá)0.1μrad,開環(huán)閉環(huán)可選,閉環(huán)傳感器包括應(yīng)變傳感器及電容傳感器,可獲得更高的定位精度。

超小體積設(shè)計(jì),具有非??斓捻憫?yīng)速度,可帶載Ø15mm的鏡片實(shí)現(xiàn)0.8ms的階躍時(shí)間。

平臺(tái)由一個(gè)鉸鏈支撐,并且由一個(gè)線性壓電促動(dòng)器推動(dòng)。鉸鏈確定了軸心點(diǎn),兼起到給壓電促動(dòng)器施加預(yù)緊力的作用。單個(gè)鉸鏈單個(gè)促動(dòng)器設(shè)計(jì)的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡單、體積小巧、性價(jià)比高等。

如果角度偏轉(zhuǎn)時(shí)工作環(huán)境溫度變化范圍較大,推薦使用差分驅(qū)動(dòng)壓電偏轉(zhuǎn)鏡。

 

  應(yīng)用  

  產(chǎn)品測試  

 

       • 圖像處理/穩(wěn)定  • 光束掃描   • 隔行掃描、抖動(dòng)  • 光束偏擺/穩(wěn)定  • 光學(xué)、激光掃描、通信  • 光過濾/轉(zhuǎn)換  • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡

 

 

 

 

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