壓電偏轉鏡是以壓電陶瓷作為驅動元件，內部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向結構設計，外部機械結構通過內部多支壓電陶瓷的伸縮來實現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉運動，補償量小，確保偏轉鏡具有的運動精度和超高的穩(wěn)定性，通過內置高精度傳感器進行閉環(huán)控制，實現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。
P32θx θy Z三維壓電偏轉鏡是以壓電陶瓷作為驅動的傾斜鏡，壓電傾斜鏡內部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)結構，采用有限元分析柔性鉸鏈結構,緊湊的差分并聯(lián)結構柔性導向系統(tǒng)具有超高的導向精度，具有高剛性、高負載、無摩擦、免維護等特點，壓電偏轉鏡內置精密位移傳感器進行全閉環(huán)位置反饋，確保偏轉鏡具有的運動控制精度、分辨率和穩(wěn)定性，可以達到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。緊湊型設計，可更好的集成光學系統(tǒng)中。
驅動控制方式：
芯明天壓電偏轉鏡可以根據用戶對負載要求、使用頻率，通信功能、開環(huán)/閉環(huán)、體積要求等選擇不同功能的控制器，也可以根據用戶特定的需求開發(fā)定制。
典型應用：
精密壓電偏轉鏡主要應用于光通信、光路調整、光干涉、自適應光學等領域，芯明天P33系列壓電偏轉系統(tǒng)已經成功應用于衛(wèi)星激光通信實驗中，高精度的偏轉、快速跟蹤、穩(wěn)定的控制使其受到國內外科研院所及企業(yè)的青睞。
