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 哈爾濱芯明天科技有限公司專注于壓電納米定位技術(shù)近二十載，已發(fā)布眾多的壓電式直線及角度超精密定位產(chǎn)品，并不斷進行技術(shù)改進，目前直線定位產(chǎn)品定位精度可達亞納米級，角度定位產(chǎn)品的定位精度可達納弧度級，重復(fù)度可達0.02%F.S.。

?哈爾濱芯明天科技有限公司作為中國的一個生產(chǎn)制造企業(yè)，正在并將持續(xù)不斷改進我們的技術(shù)，提高產(chǎn)品的精度及質(zhì)量，助力于中國芯片產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展！

芯明天壓電定位產(chǎn)品之壓電物鏡定位器

壓電物鏡定位器是專門為物鏡聚焦顯微而設(shè)計的，采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向機構(gòu)設(shè)計，物鏡補償量較小，具有超高聚焦穩(wěn)定性，物鏡定位器裝入顯微檢測/測量或者觀測裝置可以帶動鏡片進行聚焦，顯著提高定位精度，可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。

利用芯明天壓電物鏡定位器進行激光加工

?芯明天壓電物鏡定位器具有Z向納米級定位精度，它的主要應(yīng)用之一就是激光加工，例如晶圓切割。物鏡將激光束進行聚焦，通過壓電物鏡定位器調(diào)整激光束加工點的位置，調(diào)整精度為納米級，且速度可達亞毫秒。

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激光加工之晶圓切割

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激光經(jīng)過透鏡聚焦，再利用芯明天壓電物鏡定位器調(diào)整焦點的位置，使焦點準(zhǔn)確的定位在晶圓待切割部位，使被切割部位溫度急速升高，然后使之熔化或汽化。隨著激光與被切割材料的相對運動，在切割材料上形成連續(xù)切割點從而達到切割的目的。

?芯明天壓電物鏡定位器部分參數(shù)：

安裝結(jié)構(gòu)

為了更方便的更換物鏡，安裝座分別通過獨立的轉(zhuǎn)接件與顯微鏡和物鏡進行連接。壓電物鏡定位器通過螺紋適配器安裝于顯微鏡與物鏡間。轉(zhuǎn)接件可選M38×0.75、M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，同時芯明天也接受定制螺紋適配器。