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H32.TR4S系列三軸角度運(yùn)動高精度壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺

更新時間: 2024-11-07

H32.TR4S系列壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺其內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計可實現(xiàn)θx、θy偏擺及θz旋轉(zhuǎn)三維運(yùn)動。它具有響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高負(fù)載大等特點。因其優(yōu)異的性能,可在模擬振動環(huán)境中作為模擬振動臺,完成高精度、快速的微振動控制,從而滿足用戶對精密裝備控制精度測試分析以驗證和提高精密儀器與裝備的性能。產(chǎn)品外觀如下圖所示。

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產(chǎn)品特點

θx、θy偏擺及θz旋轉(zhuǎn)

θx、θy偏擺角度可達(dá)4.6mrad/軸

θz旋轉(zhuǎn)角度可達(dá)3.2mrad

分辨率可達(dá)0.05μrad

承載可達(dá)1kg

閉環(huán)版本定位精度高

亞毫秒響應(yīng)時間

產(chǎn)品應(yīng)用

振動試驗

空間擾動模擬系統(tǒng)

干涉/計量

大負(fù)載運(yùn)動試驗

技術(shù)參數(shù)

型號

H32.TR4S/K

運(yùn)動自由度

θx、θy、θz

驅(qū)動控制

4路驅(qū)動,3路傳感/4路驅(qū)動

標(biāo)稱偏擺角度(0~120V)

θxθy: 3.7mrad

θz: 2.6mrad

Max.偏擺角度(0~150V)

θxθy: 4.6mrad

θz: 3.2mrad

傳感器類型

SGS/-

分辨率

θxθy: 0.15/0.07μrad

θz: 0.1/0.05μrad

閉環(huán)線性度

可達(dá)0.03%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度

可達(dá)0.02%F.S.

空載諧振頻率

θxθy: 250Hz

θz: 560Hz

帶載諧振頻率@1kg

θxθy: 140Hz

θz: 200Hz

靜電容量

θxθy: 14.4μF

θz: 10.8μF

階躍時間

30ms@1kg/10ms

承載能力

水平安裝

1kg

立式安裝

0.5kg

倒置安裝

0.5kg

材質(zhì)

不銹鋼、鋁合金

重量(不含線)

2240g

配套控制器

E70.D4系列壓電控制器非常適用于驅(qū)動H32.TR4S系列壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺。它是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的四通道壓電控制器。采用DC24V供電,輸出電壓為0~120V或0~150V,開閉環(huán)可選,模擬及數(shù)字控制,可通過串口、USB或網(wǎng)口進(jìn)行數(shù)字通信,且體積小,非常易于集成。

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