壓電精密定位控制——閉環(huán)系統(tǒng)
由于壓電陶瓷具有幾乎無限高的位移分辨率,因此它們非常適用于微米到納米級別的高精度定位。
但是由于壓電陶瓷存在遲滯特性與蠕變特性,使得給壓電陶瓷加載相同的電壓所產生的位移不同,也就是我們說的遲滯與蠕變特性。
在很多的實際應用中,位移的高分辨率非常重要,但是的定位精度并不那么重要,非常典型的案例比如壓電移相器在干涉儀中的應用,通常要求移相器要具有非常高的分辨率,而定位精度并不重要。
另外一個例子就是應用中只需要零點與zui大位移的一個致動過程,壓電陶瓷在每次致動到zui大位移之后都回到零點位置,因此遲滯并不會影響所需要的性能。這時開環(huán)控制足以滿足應用需求。
然而,有些應用則要求非常高的定位精度,這需要通過壓電陶瓷與傳感監(jiān)測系統(tǒng)相結合來實現,由于高動態(tài)性,壓電陶瓷非常適用于帶有傳感監(jiān)測裝置的閉環(huán)系統(tǒng)。
芯明天的閉環(huán)壓電產品可以選擇不同的傳感監(jiān)測系統(tǒng),可以實現位移的定位精度是滿行程的0.02%-0.1%。對于一個滿行程10μm的納米定位臺來說,定位精度zui高可達2nm,更高的精度可以選擇電容傳感器,定位精度zui高可以達到滿行程的0.001%。
在使用閉環(huán)定位系統(tǒng)的時候需要注意,每個傳感閉環(huán)監(jiān)測的位移都是被標定的線性位置。
但是若受到環(huán)境因素比如溫度的影響,傳感監(jiān)測到的位置與實際要定位的位置之間的偏差量則無法監(jiān)測到。
芯明天全部壓電產品均為自主研發(fā)設計,可選擇配置高可靠性傳感監(jiān)測系統(tǒng),配套我們開發(fā)設計的帶有閉環(huán)控制系統(tǒng)的控制器,閉環(huán)控制是通過PID控制電路來實現實時調節(jié)的,實際監(jiān)測到的位移可以顯示在屏幕上。
在具體應用中首先要確定是否需要閉環(huán)系統(tǒng),以便選擇適合的致動產品及控制器。
芯明天全系列壓電納米定位產品均可選擇開環(huán)或閉環(huán)版本,配套對應的開環(huán)或閉環(huán)控制器產品。
如果您還不能確定需要開環(huán)還是閉環(huán)產品以滿足您的應用,那就趕快與我們的銷售工程師取得吧。